X'inhuma l-fatturi li jaffettwaw ir-riżoluzzjoni tal-mikroskopija elettronika tat-trażmissjoni?
A. Dijametru tal-post tar-raġġ ta 'l-elettroni ta' l-inċident: huwa l-limitu tal-qawwa ta 'riżoluzzjoni tal-mikroskopju elettroniku ta' l-iskannjar. Ġeneralment, id-dijametru minimu tal-post tar-raġġ tal-kanun tal-elettroni tal-katodu sħun jista 'jitnaqqas għal 6nm, u l-kanun tal-elettroni tal-emissjoni tal-kamp jista' jagħmel id-dijametru tal-post tar-raġġ iżgħar minn 3nm.
B. Effett ta 'espansjoni tar-raġġ tal-elettroni inċidentali fil-kampjun: il-grad ta' diffużjoni jiddependi fuq l-enerġija tal-elettroni tar-raġġ inċidentali u n-numru atomiku tal-kampjun. Aktar ma tkun għolja l-enerġija tar-raġġ inċidentali, iżgħar in-numru atomiku tal-kampjun, akbar ikun il-volum tar-raġġ tal-elettroni, u ż-żona fejn jiġi ġġenerat is-sinjal tiżdied bid-diffużjoni tar-raġġ tal-elettroni, u b'hekk titnaqqas ir-riżoluzzjoni.
C. Metodu ta 'l-immaġini u sinjal ta' modulazzjoni użat: meta l-elettron sekondarju jintuża bħala s-sinjal ta 'modulazzjoni, minħabba l-enerġija baxxa tiegħu (inqas minn 50 eV) u passaġġ ħieles medju qasir (madwar 10-100 nm), is-saff tal-wiċċ biss ta 50-100 nm L-elettroni sekondarji fil-medda tal-fond jistgħu jaħarbu biss mill-wiċċ tal-kampjun, u n-numru ta 'tifrix iseħħ huwa limitat ħafna, u bażikament ma jespandix lateralment. Għalhekk, ir-riżoluzzjoni tal-immaġni tal-elettroni sekondarja hija bejn wieħed u ieħor ugwali għad-dijametru tal-post tar-raġġ. Meta l-elettroni backscatered jintużaw bħala s-sinjal tal-modulazzjoni, l-enerġija tal-elettroni backscatered hija relattivament għolja u l-kapaċità ta 'penetrazzjoni hija qawwija, sabiex ikunu jistgħu jaħarbu minn żona aktar profonda fil-kampjun (madwar 30 fil-mija tal-fond effettiv). F'din il-firxa tal-fond, l-elettroni inċidentali għandhom espansjoni laterali pjuttost wiesgħa, għalhekk ir-riżoluzzjoni tal-immaġni tal-elettroni backscatered hija aktar baxxa minn dik tal-immaġni tal-elettroni sekondarji, ġeneralment madwar 500-2000nm. Jekk modi ta 'tħaddim oħra bħall-assorbiment ta' elettroni, raġġi-X, katodofluworexxenza, konduttanza indotta minn raġġ jew potenzjal jintużaw bħala sinjali ta 'modulazzjoni, peress li s-sinjali ġejjin miż-żona kollha tat-tifrix tar-raġġ tal-elettroni, ir-riżoluzzjoni tal-immaġini tal-iskannjar miksuba hija relattivament baxxa , ġeneralment f'l 000 nm Jew 'il fuq minn l0000nm.
