1. Tkabbir
B'differenza mill-mikroskopji ottiċi ordinarji, fis-SEM, l-ingrandiment huwa kkontrollat billi jiġi kkontrollat id-daqs taż-żona tal-iskannjar 3-. Jekk tkun meħtieġa ingrandiment ogħla, skennja biss żona iżgħar. L-ingrandiment jinkiseb billi jiġi diviż iż-żona tal-iskrin/ritratt miż-żona tal-iskannjar. Għalhekk, fis-SEM, il-lenti m'għandha x'taqsam xejn mal-ingrandiment.
2. Fond tal-qasam
Fis-SEM, il-punti tal-kampjun li jinsabu f'żona ta 'saff żgħir 'il fuq u taħt il-pjan fokali jistgħu jiġu ffukati sew u immaġni. Il-ħxuna ta 'dan is-saff żgħir tissejjaħ il-fond tal-kamp u ġeneralment tkun ħoxna ta' ftit nanometri, għalhekk SEM jista 'jintuża għal immaġini 3D ta' kampjuni fuq skala nanoskala.
3. Volum ta 'azzjoni
Ir-raġġ ta 'l-elettroni mhux biss jinteraġixxi ma' l-atomi fuq il-wiċċ tal-kampjun, fil-fatt jinteraġixxi ma 'l-atomi fil-kampjun f'ċerta firxa ta' ħxuna, għalhekk hemm interazzjoni "volum". Il-ħxuna tal-volum ta 'azzjoni tvarja skond is-sinjal:
Ou Ge Elettronika: 0.5 ~ 2nm.
Elettroni sekondarji: 5A, għal kondutturi, λ=1 nm; għall-iżolaturi, λ=10 nm.
Elettroni backscatered: 10 darbiet dak ta 'elettroni sekondarji.
Raġġi-X karatteristiċi: skala mikron.
Continuum tar-raġġi X: kemmxejn akbar mir-raġġi X karatteristiċi, ukoll fuq l-iskala mikrometru.
4. Distanza tax-xogħol
Id-distanza tax-xogħol tirreferi għad-distanza vertikali mill-objettiv sal-ogħla punt tal-kampjun.
Jekk tiżdied id-distanza tax-xogħol, jista 'jinkiseb fond akbar ta' kamp bil-kundizzjoni li kundizzjonijiet oħra jibqgħu mhux mibdula.
Jekk id-distanza tax-xogħol titnaqqas, tista 'tinkiseb riżoluzzjoni ogħla ceteris paribus.
Id-distanza tax-xogħol użata komunement hija bejn 5mm u 10mm.
5. Immaġini
Elettroni sekondarji u elettroni backscatered jistgħu jintużaw għall-immaġini, l-aħħar mhux tajjeb daqs l-ewwel, għalhekk l-elettroni sekondarji huma ġeneralment użati.
6. Analiżi tal-wiċċ
Il-proċess ta 'ġenerazzjoni ta' elettroni Og, raġġi X karatteristiċi, u elettroni backscatered huma kollha relatati mal-proprjetajiet atomiċi tal-kampjuni, sabiex ikunu jistgħu jintużaw għall-analiżi tal-kompożizzjoni. Madankollu, peress li r-raġġ ta 'l-elettroni jista' jippenetra biss saff baxx ħafna tal-wiċċ tal-kampjun (ara l-volum ta 'azzjoni), jista' jintuża biss għall-analiżi tal-wiċċ.
L-analiżi tar-raġġi X karatteristika hija l-analiżi tal-wiċċ l-aktar użata komunement, u jintużaw żewġ tipi ta 'ditekters: analizzatur tal-ispettru tal-enerġija u analizzatur tal-ispettru. L-ewwel huwa mgħaġġel iżda mhux preċiż, l-aħħar huwa preċiż ħafna u jista 'jsib il-preżenza ta' oligoelementi iżda jieħu wisq żmien.
