L-Applikazzjonijiet tal-Mikroskopji Konfokali fl-Industrija tas-Semikondutturi
Fil-proċess ta 'produzzjoni ta' semikondutturi fuq skala kbira-, huwa meħtieġ li jiġu depożitati ċipep ta 'ċirkwit integrat fuq il-wejfer, imbagħad jaqsamhom f'diversi unitajiet, u finalment ippakkjawhom u issaldjarhom. Għalhekk, kontroll preċiż u kejl tad-daqs tal-kanal tal-qtugħ tal-wejfer huwa rabta kruċjali fil-proċess tal-produzzjoni.
Il-mikroskopju konfokali tas-serje VT6000 huwa tagħmir ta 'spezzjoni mikroskopiku mniedi minn Zhongtu Instrument, użat ħafna fil-proċessi tal-manifattura u l-ippakkjar tas-semikondutturi. Jista' jwettaq skanjar mingħajr-kuntatt u jibni mill-ġdid il-morfoloġija tridimensjonali ta' karatteristiċi tal-wiċċ b'forom kumplessi u skanalaturi wieqaf tal-qtugħ bil-lejżer.
Il-mikroskopju konfokali tas-serje VT6000 għandu riżoluzzjoni ottika eċċellenti u jista 'josserva l-karatteristiċi tal-wiċċ tal-wejfer fid-dettall permezz ta' sistema ta 'immaġni ċara, bħall-osservazzjoni ta' jekk hemmx difetti bħal ksur tat-tarf u grif fuq il-wiċċ tal-wejfer. It-torri elettriku jista 'awtomatikament jaqleb bejn ingrandimenti oġġettivi differenti, u s-softwer awtomatikament jaqbad it-truf tal-karatteristiċi għal kejl rapidu tad-daqs bi-dimensjonali, u b'hekk jiskopri b'mod aktar effettiv u jikkontrolla l-kwalità tal-wiċċ tal-wejfer.
Fil-proċess ta 'wejfers tal-qtugħ bil-lejżer, huwa meħtieġ pożizzjonament preċiż biex jiġi żgurat li l-iskanalaturi jistgħu jinqatgħu tul il-kontorn korrett fuq il-wejfer. Il-kwalità tas-segmentazzjoni tal-wejfer normalment titkejjel mill-fond u l-wisa 'tal-iskanalaturi tat-tqattigħ. Il-mikroskopju konfokali tas-serje VT6000, ibbażat fuq teknoloġija konfokali u mgħammar b'moduli ta 'skannjar ta' -veloċità għolja, għandu softwer ta 'analiżi professjonali b'funzjonijiet ta' kejl b'ħafna żoni u awtomatiċi. Jista 'jibdi mill-ġdid malajr il-kontorn tridimensjonali tal-kanal tal-lejżer tal-wejfer ittestjat u jwettaq analiżi ta' profili multi biex jikseb informazzjoni dwar il-fond u l-wisa 'tal-kanali tal--sezzjoni trasversali.
