Prinċipji u Applikazzjonijiet ta 'Scanning Electron Microscopy
Karatteristiċi ta 'SEM
Meta mqabbel mal-mikroskopju ottiku u l-mikroskopju elettroniku tat-trażmissjoni, il-mikroskopju elettroniku tal-iskannjar għandu l-karatteristiċi li ġejjin:
(1) L-istruttura tal-wiċċ tal-kampjun tista 'tiġi osservata direttament, u d-daqs tal-kampjun jista' jkun kbir daqs 120mm × 80mm × 50mm.
(2) Il-proċess ta 'preparazzjoni tal-kampjun huwa sempliċi u m'għandux għalfejn jinqata' fi flieli irqaq.
(3) Il-kampjun jista 'jiġi tradott u mdawwar fi spazju tridimensjonali fil-kamra tal-kampjun, sabiex il-kampjun jista' jiġi osservat minn diversi angoli.
(4) Il-fond tal-kamp huwa kbir, u l-immaġni hija sħiħa ta 'tridimensjonalità. Il-fond tal-kamp tal-mikroskopju elettroniku tal-iskannjar huwa mijiet ta 'darbiet akbar minn dak tal-mikroskopju ottiku u għexieren ta' darbiet akbar minn dak tal-mikroskopju elettroniku tat-trażmissjoni.
(5) Il-firxa ta 'ingrandiment tal-immaġni hija wiesgħa u r-riżoluzzjoni hija relattivament għolja. Jista 'jiġi eżaltat għaxar darbiet għal mijiet ta' eluf ta 'drabi, u bażikament jinkludi l-firxa ta' ingrandiment minn lenti, mikroskopju ottiku għal mikroskopju elettroniku ta 'trażmissjoni. Ir-riżoluzzjoni hija bejn mikroskopju ottiku u mikroskopju elettroniku ta 'trasmissjoni, sa 3nm.
(6) Il-ħsara u l-kontaminazzjoni tal-kampjun mir-raġġ tal-elettroni huma relattivament żgħar.
(7) Waqt li tiġi osservata l-morfoloġija, sinjali oħra mill-kampjun jistgħu jintużaw ukoll għall-analiżi tal-mikro-komponenti.
L-istruttura u l-prinċipju tax-xogħol tal-mikroskopju elettroniku tal-iskannjar
1. barmil tal-lenti
Il-kanna tal-lenti tinkludi gun elettron, lenti tal-kondensatur, lenti oġġettiva u sistema ta 'skannjar. Il-funzjoni tiegħu hija li tiġġenera raġġ ta 'elettroni irqiq ħafna (madwar ftit nm fid-dijametru), u tagħmel ir-raġġ ta' elettroni skennja l-wiċċ tal-kampjun, u simultanjament tistimula diversi sinjali.
2. Sistema ta 'ġbir u pproċessar tas-sinjali elettroniċi
Fil-kamra tal-kampjun, ir-raġġ tal-elettroni tal-iskanjar jinteraġixxi mal-kampjun biex jiġġenera sinjali varji, inklużi elettroni sekondarji, elettroni backscatered, raġġi X, elettroni assorbiti, elettroni Auger, eċċ Fost is-sinjali ta 'hawn fuq, l-aktar importanti huma l-elettroni sekondarji , li huma l-elettroni ta 'barra fl-atomi tal-kampjun eċċitati mill-elettroni inċidentali, li huma ġġenerati fiż-żona ta' diversi nm sa għexieren ta 'nm taħt il-wiċċ tal-kampjun, u r-rata ta' ġenerazzjoni tiddependi prinċipalment fuq il-Morfoloġija u l-kompożizzjoni tal-kampjuni. L-hekk imsejħa immaġni tal-elettroni tal-iskannjar normalment tirreferi għall-immaġni tal-elettroni sekondarja, li hija s-sinjal elettroniku l-aktar utli għall-istudju tal-morfoloġija tal-wiċċ tal-kampjun. Id-ditekter għall-iskoperta ta 'elettroni sekondarji (is-sonda fil-Figura 15(2) hija xintillator, meta l-elettroni jolqtu x-xpetpett, 1 se jiġġenera dawl fih, dan id-dawl jiġi trażmess lit-tubu fotomultiplikatur mill-gwida tad-dawl, u s-sinjal tad-dawl Jiġifieri, huwa kkonvertit f'sinjal kurrenti, u mbagħad permezz ta 'amplifikazzjoni minn qabel u amplifikazzjoni tal-vidjo, is-sinjal kurrenti huwa kkonvertit f'sinjal ta' vultaġġ, u finalment jintbagħat lill-grilja tat-tubu tal-istampa.
