Vantaġġi ta 'Scanning Electron Microscopy
1. Tkabbir
Peress li d-daqs tal-iskrin fluworexxenti tal-mikroskopju elettroniku tal-iskanjar huwa ffissat, il-bidla tal-ingrandiment hija realizzata billi tinbidel l-amplitudni tal-iskannjar tar-raġġ tal-elettroni fuq il-wiċċ tal-kampjun.
Jekk il-kurrent tal-coil tal-iskannjar jitnaqqas, il-firxa tal-iskannjar tar-raġġ tal-elettroni fuq il-kampjun titnaqqas u l-ingrandiment jiżdied. L-aġġustament huwa konvenjenti ħafna, u jista 'jiġi aġġustat kontinwament minn 20 darba għal madwar 200,000 darba.
2. Riżoluzzjoni
Ir-riżoluzzjoni hija l-indiċi tal-prestazzjoni prinċipali tas-SEM.
Ir-riżoluzzjoni hija ddeterminata mid-dijametru tar-raġġ ta 'elettroni inċidentali u t-tip ta' sinjal ta 'modulazzjoni:
Iktar ma jkun żgħir id-dijametru tar-raġġ tal-elettroni, iktar tkun għolja r-riżoluzzjoni.
Sinjali fiżiċi differenti użati għall-immaġini għandhom riżoluzzjonijiet differenti.
Pereżempju, l-elettroni SE u BE għandhom firxiet ta 'emissjoni differenti fuq il-wiċċ tal-kampjun, u r-riżoluzzjonijiet tagħhom huma differenti. Ġeneralment, ir-riżoluzzjoni ta' SE hija ta' madwar 5-10 nm, u dik ta' BE hija ta' madwar 50-200 nm.
3. Fond tal-Qasam
Tirreferi għal firxa ta 'kapaċitajiet li lenti tista' simultanjament tiffoka u immaġni fuq diversi partijiet ta 'kampjun b'irregolarità.
Il-lenti finali tal-mikroskopju elettroniku tal-iskannjar tadotta angolu ta 'apertura żgħira u tul fokali twil, għalhekk jista' jinkiseb fond kbir ta 'kamp, li huwa 100-500 darbiet akbar minn dak ta' mikroskopju ottiku ġenerali u 10 darbiet akbar minn dik ta’ mikroskopju elettroniku ta’ trażmissjoni.
Fond kbir ta 'kamp, sens tridimensjonali qawwi, u forma realistika huma l-karatteristiċi pendenti ta' SEM.
Il-kampjuni għal SEM huma maqsuma f'żewġ kategoriji:
1 huwa kampjun b'konduttività tajba, li ġeneralment jista 'jżomm il-forma oriġinali tiegħu u jista' jiġi osservat f'mikroskopju elettroniku mingħajr jew bi ftit tindif;
2. Kampjuni mhux konduttivi, jew kampjuni li jitilfu l-ilma, joħorġu l-gass, jiċkienu u jiddeformaw fil-vakwu, jeħtieġ li jiġu ttrattati sew qabel ma jkunu jistgħu jiġu osservati.
