Prinċipju ta 'skoperta ta' mikro-interferenza tal-mikro-topografija tal-wiċċ u status ta 'żvilupp ta' mikroskopju ta 'interferenza
(1) Bidliet fl-ambitu tal-applikazzjoni L-aktar domanda bikrija għall-iskoperta tat-topografija mikroskopika tal-wiċċ hija manifestata fil-kontroll bir-reqqa tal-lubrikazzjoni, il-frizzjoni u l-ilbies fl-industrija tal-makkinarju. Bl-iżvilupp mgħaġġel ta 'ħafna dixxiplini tal-fruntiera, l-ambitu ta' din id-domanda espandiet għal ottika tar-raġġi X, industrija tal-informazzjoni tad-diska ottika, mikroelettronika, fiżika tal-lejżer b'rata għolja u ħafna oqsma oħra;
(2) Qabel ma nbidlet il-kompożizzjoni tal-istrument, it-tester tal-mikro-morfoloġija tal-wiċċ uża t-tip tal-istilus, li kien tat-tip mekkaniku u elettriku; peress li r-rekwiżiti għall-ittestjar mhux distruttiv ta 'preċiżjoni għolja tressqu f'ħafna oqsma, ġew introdotti apparati ġodda u prinċipji ġodda. L-istrument huwa ottiku u mekkaniku, elettriku, kalkolu tat-tip magħqud;
(3) L-emerġenza kontinwa ta’ prinċipji ġodda hija manifestata prinċipalment fi:
L-emerġenza ta 'forom interferometer ġodda tfisser l-iżvilupp mill-formoli magħrufa sew Fizeau, Linnik, u Michelson għat-tip Mirau ġdid. Dan it-tip ta 'interferometru għandu struttura kompatta u prestazzjoni tajba kontra l-interferenza. Hija l-forma ewlenija tal-interferometru adattata għall-prinċipju tat-test ġdid VSI u FDA. L-awtur jemmen li ż-żewġ punti li ġejjin jeħtieġ li jiġu kkunsidrati meta jiġi żviluppat mikroskopju Mirau: (1) Sabiex tiġi żgurata ċerta distanza tax-xogħol, jeħtieġ li jkun iddisinjat apposta; (2) Il-ħxuna tar-raġġ splitter, pjanċa ta 'kumpens, u pjanċa standard m'għandhomx ikunu kbar, ġeneralment μm jew inqas minn μm Għalhekk, ir-rekwiżiti għall-għażla tal-materjal u l-kisi tagħhom huma għoljin. Hemm forom oħra ta 'Dyson u Normarski b'passaġġ ottiku komuni. Meta mqabbel ma 'forom oħra bħal Dyson u Normarski, il-mikroskopju tal-interferenza tal-passaġġ ottiku maqsum huwa faċli biex ittejjeb l-eżattezza minħabba l-użu ta' wiċċ standard ta 'preċiżjoni għolja, iżda għandu rekwiżiti stretti fuq kundizzjonijiet ambjentali (bħal temperatura, vibrazzjoni, eċċ. .), u ġeneralment jintuża fil-laboratorji jew fid-dipartiment tal-metroloġija Standard; mikroskopju komuni ta 'interferenza tal-passaġġ ottiku mhuwiex sensittiv għal interferenza esterna bħal vibrazzjoni mekkanika u bidla fit-temperatura, u huwa adattat għal spezzjoni onlajn fil-workshop.
Minbarra l-introduzzjoni tal-prinċipju l-ġdid ta’ interferenza ta’ bidla fil-fażi (PSI) fil-qasam tal-ittestjar tal-interferenza, ħarġu prinċipji ġodda tat-test, kif ukoll prinċipji aġġornati tal-analiżi tad-dominju tal-frekwenza (FDA) u prinċipji tal-interferenza tal-iskannjar vertikali (VSI) . Meta mqabbel mal-prinċipju ta 'interferenza ta' bidla fil-fażi, FDA u VSI jistgħu jeliminaw l-ambigwità tal-qbiż tal-fażi, u huma adattati għar-rekwiżiti tal-ittestjar ta 'skanalaturi u passi fl-oqsma tal-mikroelettronika u l-industriji tal-informazzjoni tad-diska ottika; meta mqabbel ma 'FDA u VSI, il-metodu ta' kejl tal-fażi ta 'qabel għandu rata ta' utilizzazzjoni tad-dejta Għoli, preċiżjoni għolja, jista 'jelimina l-aberrazzjoni kromatika tas-sistema ottika tal-interferometru, eċċ., Din tal-aħħar għandha l-iżvantaġġi li ġejjin minbarra l-utilizzazzjoni baxxa tad-dejta: (1) Minħabba li l-kuntrast huwa faċilment affettwat minn storbju każwali, l-iżball każwali kultant huwa kbir:; (2) il-kuntrast huwa relatat mad-distribuzzjoni tal-intensità spettrali tas-sors tad-dawl abjad, għalhekk ir-rekwiżiti għall-istabbiltà tal-intensità spettrali tas-sors tad-dawl abjad huma relattivament għoljin.
(4) Il-bidla tas-sors tad-dawl tadotta l-prinċipju ta 'interferenza tad-dawl abjad ibbażat fuq il-mogħdija ottika ugwali. Meta mqabbel mas-sors tad-dawl tal-lejżer, is-sors tad-dawl tal-vapur jista 'jelimina l-istorbju fit-truf tal-interferenza u jiffoka b'mod preċiż fuq il-wiċċ imkejjel, u jista' jsolvi l-problema tat-tranżizzjonijiet tal-fażi mċajpra. Huwa adattat għall-mikro-ottika u mikroelettronika b'firxa kbira ta 'kejl u rekwiżiti ta' ttestjar ta 'preċiżjoni ogħla.
