1. Differenzi strutturali
Huwa prinċipalment rifless fil-pożizzjonijiet differenti tal-kampjuni fil-mogħdija ottika tar-raġġ ta 'l-elettroni. Il-kampjun ta 'TEM huwa fin-nofs tar-raġġ ta' l-elettroni, is-sors ta 'l-elettroni jarmi elettroni fuq il-kampjun, wara li jgħaddi mill-kondensatur, u mbagħad jippenetra l-kampjun, lenti elettromanjetika ta' segwitu tkompli tkabbar ir-raġġ ta 'elettroni, u l-epifiżi huwa proġettat fuq l-iskrin fluworexxenti; il-kampjun ta 'SEM huwa fir-raġġ ta' l-elettroni. Fl-aħħar, ir-raġġ ta 'elettroni emess mis-sors elettriku 'l fuq mill-kampjun jitnaqqas b'diversi stadji ta' lentijiet elettromanjetiċi u jilħaq il-kampjun. Naturalment, l-istruttura tas-sistema sussegwenti tal-ipproċessar tal-ġenb tas-sejbien tas-sinjali se tkun ukoll differenti, iżda m'hemm l-ebda differenza sostanzjali f'termini ta 'prinċipji fiżiċi bażiċi.
2. Prinċipju bażiku tax-xogħol
Mikroskopju elettroniku ta 'trażmissjoni: Meta r-raġġ ta' l-elettroni jgħaddi mill-kampjun, se jxerred ma 'l-atomi fil-kampjun. L-elettroni li jgħaddu minn ċertu punt fuq il-kampjun fl-istess ħin huma f'direzzjonijiet differenti. Dan il-punt fuq il-kampjun huwa bejn 1-2 darbiet it-tul fokali tal-lenti oġġettiva. L-elettroni jerġgħu jikkonverġu wara li jiġu eżaltati mil-lenti oġġettiva, u jiffurmaw immaġni reali eżaltata tal-punt, li hija l-istess bħall-prinċipju tal-immaġini tal-lenti konvessa. Hemm mekkaniżmu ta 'formazzjoni ta' kuntrast hawn, u t-teorija mhix diskussa fil-fond, iżda jista 'jiġi immaġinat li jekk l-intern tal-kampjun huwa assolutament uniformi, mingħajr konfini tal-qamħ, u mingħajr struttura ta' kannizzata atomika, allura l-immaġni eżaltata ma jkollhiex kwalunkwe kuntrast. Din it-tip ta 'sustanza ma teżistix, għalhekk hemm raġuni għal dan it-tip ta' strument li jeżisti. Mikroskopju elettroniku tal-iskannjar: Ir-raġġ tal-elettroni jilħaq il-kampjun, iħeġġeġ l-elettroni sekondarji fil-kampjun, u l-elettroni sekondarji jiġu riċevuti mid-ditekter, permezz tal-ipproċessar tas-sinjali u l-modulazzjoni tal-emissjoni tad-dawl ta 'pixel fuq il-wiri, minħabba li d-dijametru tal-elettron il-post tar-raġġ huwa nanoskala, u l-pixel tal-wiri huwa 100 'il fuq minn mikron, id-dawl emess minn dan il-pixel 100-mikron u 'l fuq jirrappreżenta d-dawl emess mir-reġjun fuq il-kampjun li huwa eċċitati mir-raġġ tal-elettroni . L-amplifikazzjoni ta' dan il-punt ta' l-oġġett fuq il-kampjun tinkiseb. Jekk ir-raġġ ta 'l-elettroni jiġi skennjat b'raster f'żona tal-kampjun, il-luminożità tal-pixels tal-wiri tista' tiġi modulata waħda waħda mill-arranġament ġeometriku, u l-immaġini eżaltata ta 'din iż-żona tal-kampjun tista' tiġi realizzata.
3. Rekwiżiti għall-kampjuni
(1) Mikroskopju elettroniku tal-iskannjar
Il-preparazzjoni tal-kampjun SEM m'għandha l-ebda rekwiżiti speċjali fuq il-ħxuna tal-kampjun, u tista 'tuża metodi bħal qtugħ, tħin, illustrar jew qsim biex tippreżenta sezzjoni speċifika, u b'hekk tittrasformaha f'wiċċ osservabbli. Jekk wiċċ bħal dan jiġi osservat direttament, tista 'tidher biss ħsara fl-ipproċessar tal-wiċċ. Ġeneralment, soluzzjonijiet kimiċi differenti għandhom jintużaw għall-inċiżjoni preferenzjali biex jipproduċu kuntrast li jwassal għall-osservazzjoni. Madankollu, il-korrużjoni tikkawża li l-kampjun jitlef parti mill-istat veru tal-istruttura oriġinali, u fl-istess ħin jintroduċi xi interferenza artifiċjali.
(2) Mikroskopju elettroniku tat-trażmissjoni
Peress li l-kwalità tal-immaġni mikroskopika miksuba minn TEM tiddependi ħafna fuq il-ħxuna tal-kampjun, il-parti ta 'osservazzjoni tal-kampjun għandha tkun irqaq ħafna. Pereżempju, il-kampjun TEM ta' apparat tal-memorja jista' jkollu biss ħxuna ta' 10-100 nm, li jġib diffikultajiet kbar għall-preparazzjoni tal-kampjun TEM. diffikultà. Fil-proċess tal-preparazzjoni tal-kampjun, ir-rendiment tat-tħin manwali jew il-kontroll mekkaniku għall-jibdew mhuwiex għoli, u l-kampjun jiġi skrappjat ladarba jkun mitħun b'mod eċċessiv. Problema oħra fil-preparazzjoni tal-kampjuni TEM hija l-ippożizzjonar tal-punti ta 'osservazzjoni. Il-preparazzjoni ġenerali tal-kampjun tista 'tikseb biss medda rqiqa ta' osservazzjoni ta 'l-ordni ta' 10 mm. Meta jkunu meħtieġa pożizzjonament u analiżi preċiżi, il-mira ħafna drabi taqa 'barra mill-medda ta' osservazzjoni. Fil-preżent, is-soluzzjoni ideali hija li tuża inċiżjoni b'raġġ tal-joni iffukat (FIB).
